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【官方网站机械】半导体设备真空腔体密封面解决方案

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  • 添加日期:2022年03月17日

Belt Track Finisher (带式磨削) 加工装置。

  Belt Track Finisher (带式磨削)加工装置是实现超真空面密封无研磨加工的另一项场景应用,是加工中心直接将真空装置的密封面加工成高品质量,实现其表面实现超高真空密封效果的可行性方案之一。

  Belt Track Finisher (带式磨削)加工装置:




  传统的加工方式,由于刀具旋转会产生从内侧到外侧的切削痕迹。

  真空密封面中氦气沿着切削痕迹泄漏,无法维持真空。

  为了保持高真空状态,必须进行研磨作业。

  带式磨削精加工装置,研磨纹理可以跟工具前进方向平行运动,没有从内侧到外侧的切削痕迹,因此真空面没有泄露。



  加工特点

  ・沿工具前进方向平行的研磨纹理

  ・没有真空泄露方向的切削痕迹




  关键技术

  ・新开发的接触轮,提高研磨效率

  ・带式磨削工艺,不留切削痕迹

  ・更换砂带简单,自动调整张力

  ・无需气管、电线。可使用 ATC,实现连续加工

  ・选择不同的砂带宽度和颗粒度,可以加工多种材料



  加工案例