真空脱气

对于真空镀膜而言，脱气工艺在提高产品品质上非常重要。

在树脂薄膜基材上的镀膜 ≠ 在玻璃基材上的镀膜

● 在真空环境下，加入了等离子等热因素后，会从树脂薄膜里溢出扰乱气体。

● 树脂薄膜以及其表面的涂布层仅靠干燥工艺是无法彻底干燥彻底的。

    - 干燥工艺：有大气压影响。气体无法充分释出。

    - 镀膜工艺：无大气压影响。气体可充分释出。

为高品质提供保障的脱气工艺

● 脱气工艺要点

 - 真空环境

 - 烘烤加热

 - 动态搬送

举例：ITO的品质改善

要制造高品质的ITO薄膜，必须对氧气进行高精度的控制。

同时，从基材释出的气体，会成为外部因素扰乱氧气控制。

通过镀膜前的真空脱气，可实现高品质，高良品率。　

真空脱气装置

● 加热方式

- 非接触式辐射加热

- 接触加热（镀膜筒加热）

● 加热器加热长度

- 脱气量的测量

- 温度 ?加热时间的见解

→　我司推荐的加热器加热长度

● 真空排气

- 使用我司值得信赖的，业绩充分的排气方式。

- 所谓大量的释出气体（水蒸气?聚合物）的处置方式。

● 动态搬送

- 在日本代表性的ITO镀膜企业具有宽幅1.6m的真空脱气设备业绩。

- 该公司对其给予了品质改善的信任，视为绝对必须的生产工艺。

真空脱气设备 : W30D 系列

磁控溅射 : W60S 系列

真空脱气系统的基本技术参数

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